MPCVD（微波等离子体CVD）技术能够合成出纯净度较高的金刚石产品。其主要特点是等离子体中电子密度高，产生原子H的浓度大，没有电极污染，能够在较大压力下产生稳定的等离子体，生长的金刚石膜的质量较高，其设备也是国外科学家研究的重点。微波法能够制备大面积、高质量的金刚石，是未来制备人造金刚石最理想的方法，该方法在国外已经得到了很好的应用，如导弹头罩，光学红外窗口等。微波CVD法能够制备高品级的金刚石，经过加工后可以作为钻石等装饰品，其价格也仅天然钻石的四分之一左右，只是目前微波设备和技术成本的投资较大。